Вакуумная установка магнетронного нанесения покрытий НАНОМЕТ 700М
Установки нанесения PVD покрытий на диэлектрические пластины
НАНОМЕТ 700М
Количество кассет за один цикл 80
Количество магнетронов 4
Количество ионных источников 2
1 год технологического сопровождения
По запросу
Почта для заявок
elan-praktik@mail.ru
- Количество кассет за один цикл
- 80
- Количество магнетронов
- 4
- Количество ионных источников
- 2
- Количество каналов газоподачи
- 2
- Дипазон рабочих давлений
- 0,2-0,5 Па
- Внутренний диаметр камеры
- 700мм
- Масса установки
- 1100 кГ
- Расход охлаждающей воды
- 800 л/час
Встроенная система управления и контроля должна имеет возможность удаленного управления установкой с компьютера фирмы-изготовителя посредством сети Интернет для обеспечения настройки и диагностики установки
Установка комплектуется автономной системой охлаждения (чиллер)
Откачка безмасляная, турбомолекулярный насос