Универсальная вакуумная установка QUADRA 900

Загрузить рекламный буклет: QUADRA 900 _2026

До настоящего времени получение нанокомпозитых покрытий методом магнетронного распыления осуществлялось при помощи дуальных систем несбалансированных магнетронов – дуальных НМРС. Развитие этого направления, проводимое в НПФ «Элан-Практик» с 2006 года, привело к появлению нового, более эффективного метода получения  наноструктурированных покрытий названного методом квадрупольного магнетронного распыления.

Одна из технических реализаций этого метода, осуществленная в установке QUADRA 900

В отличие от дуальной НМРС магнетроны квадрупольной системы равномерно разнесены вокруг карусельного устройства. Это обеспечивает в процессе нанесения покрытия существенно более высокую однородность плазмы по всей траектории движения изделий-подложек и практически исключает наличие «теневых» зон с низкой степенью ионизации и малой плотностью потока металлических атомов.

Кроме того, за счет определенной магнитной конфигурации и особого режима синхронизации работы магнетронов, квадрупольная система генерирует пульсирующую замагниченную плазму с более высокой, чем в разряде  дуальной НМРС, степенью ионизации. Повышенная степень ионизации благоприятствует осуществлению фазовой нано-сегрегации при синтезе нанокомпозитных покрытий.

Все это приводит к получению наноструктурированных покрытий с уникальными свойствами и характеристиками, которые недостижимы при использовании предшествующих методов магнетронного распыления.

Существенным преимуществом квадрупольной системы является также двукратное увеличение числа магнетронов, что удваивает возможное количество фаз в получаемых покрытиях. Это обстоятельство значительно расширяет возможности установки по нанесению новых перспективных нанокомпозитных покрытий с уникальными свойствами.